水蒸氣蒸餾：水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。
直接蒸餾：在沸點教高的酸溶液中，氟化物以氟硅酸或氫氟酸形式蒸出。
水中氟離子測定方法：離子選擇電極法、氟試劑分光光度法、茜素磺酸鋯光度法、離子色譜法、硝酸釷滴定法等。

氟化物廣泛存在于自然水體中，有色冶金、鋼鐵和鋁加工、焦炭、玻璃、陶瓷、電子、電鍍、化肥、農藥廠的廢水及含氟曠物的廢水中常常都存在氟化物，通常采用預蒸餾的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。